硬化涂層膜厚儀是一款快 速、準(zhǔn)確測量薄膜表征應(yīng)用的模塊化解決方案，要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米，如微圖案表面，粗糙表面及許多其他表面。它可以配備一臺計(jì)算機(jī)控 制的XY工作臺，使其快 速、方便和準(zhǔn)確地描繪樣品的厚度和光學(xué)特性圖。品牌屬于Thetametrisis。

Thetametrisis利用 FR-Mic，通過紫外/ 可見/ 近紅外可輕易對局部區(qū)域薄膜厚度，厚度映射，光學(xué)常數(shù)，反射率，折射率及消光系數(shù)進(jìn)行測量。

【相關(guān)應(yīng)用】

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2.半導(dǎo)體制造

3.(氧化物/氮化物， 硅膜, 光刻膠及其他半導(dǎo)體薄膜.)

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【Thetametrisis膜厚儀特點(diǎn)】

1、實(shí)時(shí)光譜測量

2、薄膜厚度，光學(xué)特性，非均勻性測量， 厚度映射

3、使用集成的，USB連接高品質(zhì)彩色攝像機(jī)進(jìn)行成像

【Thetametrisis膜厚儀產(chǎn)品優(yōu)勢】

1、單擊即可分析 (無需初始預(yù)測)

2、動態(tài)測量

3、包含光學(xué)參數(shù) (n & k, color)

4、可保存測量演示視頻錄像

5、超過 600 種不同材料o 多個(gè)離線分析配套裝置o 免費(fèi)操作軟件升級

【技術(shù)參數(shù)】

*測量面積(收集反射或透射信號的面積)與顯微鏡物鏡和 FR-uProbe 的孔徑大小有關(guān)

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【工作原理】

*規(guī)格如有更改，恕不另行通知, 測量結(jié)果與校準(zhǔn)的光譜橢偏儀和 XRD 相比較, 連續(xù) 15 天測量的標(biāo)準(zhǔn)方差平均值。樣品：1um SiO2 on Si., 100 次厚度測量的標(biāo)準(zhǔn)方差，樣品：1um SiO2 on Si.

*超過 15 天的標(biāo)準(zhǔn)偏差日平均值樣品：1um SiO2 on Si。

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